Вихревой магнитный насос MDS из нержавеющей стали
Обзор продукта
Вихревой магнитный насос MDS для высоких и низких температур оснащен проточными частями из нержавеющей стали. Благодаря бессальниковой конструкции магнитного привода динамические уплотнения преобразуются в статические, что обеспечивает безопасность и стабильность насоса в криогенных и высокотемпературных условиях эксплуатации. Разработанный как насос для полупроводниковой отрасли, MDS обслуживает точки прецизионного терморегулирования по всей цепочке обработки пластин, включая линии полировки и очистки, подготовку CMP, осаждение тонких пленок (CVD/PVD), охлаждение систем травления, а также оборудование упаковки и тестирования. Испытанное гелиевым течеискателем уплотнение надежно удерживает высокочистые технологические среды и защищает производственную среду. Та же компактная герметичная конструкция поддерживает приложения ИИ и высокопроизводительных вычислений: микроканальные контуры охлаждения, контуры жидкостного охлаждения для термической валидации чипов и серверов, а также терморегулирование оптических линз. Рассчитанный на среды от −196°C до +400°C, MDS перекачивает водно-гликолевые смеси и другие хладагенты в компактном OEM-оборудовании.
Характеристики продукта
- Корпус насоса обработан по высокоизносостойкой технологии типа D
- Литье по выплавляемым моделям со среднетемпературным воском и многоэтапная обработка поверхности
- Высоконапорная герметизация, испытанная гелиевым течеискателем
- Незагрязняющий проточный тракт из нержавеющей стали со статическим уплотнением для высокочистых полупроводниковых технологических сред
- Компактная вихревая гидравлика с напором 20–100 м при подаче 0,5–8 м³/ч для прецизионных контуров терморегулирования
- Подходит для водно-гликолевых смесей, применяемых в системах охлаждения ИИ-чипов и микроканальных системах
- Компактная конструкция, готовая к интеграции в OEM-оборудование терморегулирования и испытаний
Технические характеристики
| Модель | Диаметр | Мотор | Параметр производительности | Вес насоса (кг) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Вход | Выход | Мощность (кВт) | (Гп) | Напряжение (В) | Частота (Гц) | Скорость (об/мин) | Максимальный напор (м) | Максимальная производительность (л/мин) | ||
| МДС-15 | G1/2" | G1/2" | 1.1 | 1.5 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 55 | 35 | 13.5 |
| МДС-20 | G3/4" | G3/4" | 1.5 | 2 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 70 | 60 | 22 |
| МДС-30 | G3/4" | G3/4" | 2.2 | 3 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 90 | 60 | 26 |
*Приведенные выше характеристики получены при испытаниях на воде при нормальной скорости и температуре 20°C. Погрешность параметров производительности составляет примерно ±10%. Характеристики насоса изменяются в зависимости от состава и плотности жидкой среды.
Ключевые характеристики
Низкий уровень шума
Конструкция насоса
Конструкция насоса MDS состоит из крышки насоса, шпинделя, рабочего колеса, корпуса насоса, втулки оси, уплотнительного кольца, внутреннего магнита, изоляционной крышки, наружного магнита и двигателя, образуя износостойкий, герметичный узел для перекачки криогенных и высокотемпературных жидкостей.
Рабочая кривая
Конструкция насоса MDS состоит из крышки насоса, шпинделя, рабочего колеса, корпуса насоса, втулки оси, уплотнительного кольца, внутреннего магнита, изоляционной крышки, наружного магнита и двигателя, образуя износостойкий, герметичный узел для перекачки криогенных и высокотемпературных жидкостей.
Условия эксплуатации
| Средняя температура | Средняя плотность | Температура окружающей среды | Максимальная высота | Максимальное выдерживаемое давление |
|---|---|---|---|---|
| -196°C ~ +400°C | 0,6 ~ 2,0 | -50°C ~ +70°C | 5000 м | 70 бар |
Область применения
MDS применяется в четырех группах применений, где сочетаются компактность, отсутствие утечек и прецизионное терморегулирование.
Производство полупроводников
Прецизионное терморегулирование и циркуляция сред для линий полировки и очистки пластин, температурная подготовка CMP (химико-механическая планаризация), оборудование осаждения тонких пленок (CVD/PVD), охлаждение систем травления, а также оборудование упаковки и тестирования. Испытанная гелием статическая герметизация и проточный тракт из нержавеющей стали защищают высокочистые технологические среды от загрязнения, а производственную среду — от утечек.
Охлаждение ИИ и высокопроизводительных вычислений
Микроканальные контуры охлаждения, контуры жидкостного охлаждения для термической валидации ИИ-чипов и серверов, а также циркуляция хладагента в компактных испытательных стендах для высокоплотного вычислительного оборудования. Насос работает с водно-гликолевыми смесями при стабильном давлении на малом расходе и встраивается в компактные OEM-модули охлаждения.
Оптика и прецизионные приборы
Прецизионное терморегулирование оптических линз, камеры и приборы высоко-низкотемпературных испытаний, а также термокондиционирующие системы лабораторного класса, требующие стабильной, без пульсаций циркуляции в компактном исполнении.
Процессное и моющее оборудование
Микроканальные реакторы, оборудование ультразвуковой очистки и другие компактные задачи циркуляции в химических и процессных приложениях, требующие коррозионностойкой, герметичной перекачки жидкостей.
Сертификация продукта
