Bomba de accionamiento magnético Vortex de acero inoxidable MDS
Resumen del producto
La bomba de vórtice de alta y baja temperatura con accionamiento magnético MDS cuenta con partes húmedas de acero inoxidable. Con un diseño de accionamiento magnético sin sello de eje, convierte los sellos dinámicos en estáticos, garantizando la seguridad y estabilidad de la bomba en condiciones criogénicas y de alta temperatura. Diseñada como bomba dedicada a semiconductores, la MDS atiende puntos de control de temperatura de precisión en toda la cadena de proceso de obleas, incluidas líneas de pulido y limpieza, acondicionamiento CMP, deposición de capas finas (CVD/PVD), refrigeración de sistemas de grabado y equipos de encapsulado y prueba. El sellado probado con detección de fugas de helio mantiene contenidos los medios de proceso de alta pureza y protege el entorno de la fab. El mismo diseño compacto y sin fugas admite aplicaciones de IA y computación avanzada: circuitos de refrigeración por microcanales, circuitos de refrigeración líquida para validación térmica de chips y servidores, y control de temperatura de lentes ópticas. Con medios de −196°C a +400°C, la MDS maneja mezclas agua-glicol y otros refrigerantes en equipos OEM con espacio limitado.
Características del producto
- El cuerpo de la bomba se trata con una tecnología de procesamiento tipo D altamente resistente al desgaste
- Fundición de precisión con cera de temperatura media y tecnología de tratamiento superficial en múltiples pasos
- Tecnología de sellado de alta presión probada mediante detección de fugas de helio
- Circuito de fluido de acero inoxidable libre de contaminación con sellado estático para medios de proceso de semiconductores de alta pureza
- Hidráulica de vórtice compacta con alturas de 20–100 m a 0,5–8 m³/h para circuitos de control de temperatura de precisión
- Apta para mezclas agua-glicol usadas en sistemas de refrigeración de chips de IA y microcanales
- Diseño compacto listo para integración en equipos OEM de control de temperatura y pruebas
Especificaciones técnicas
| Modelo | Diámetro | Motor | Parámetro de rendimiento | Peso de la bomba (kg) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Entrada | Salida | Potencia (kW) | (HP) | Voltaje (V) | Frecuencia (Hz) | Velocidad (r/min) | Altura máxima (m) | Capacidad máxima (L/min) | ||
| MDS-15 | G1/2" | G1/2" | 1.1 | 1.5 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 55 | 35 | 13.5 |
| MDS-20 | G3/4" | G3/4" | 1.5 | 2 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 70 | 60 | 22 |
| MDS-30 | G3/4" | G3/4" | 2.2 | 3 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 90 | 60 | 26 |
*La prueba característica anterior se basa en transferencia de agua a velocidad normal bajo 20°C. El error de parámetros de rendimiento es aproximadamente ±10%. El rendimiento de la bomba varía según la proporción y densidad del medio líquido.
Estructura de la bomba
La estructura de producción de la bomba MDS consta de la tapa de la bomba, el husillo, el impulsor, el cuerpo de la bomba, el manguito del eje, el anillo de empaquetadura, el imán interior, la tapa de aislamiento, el imán exterior y el motor, formando un conjunto de transferencia de fluidos criogénicos y de alta temperatura, resistente al desgaste y a prueba de fugas.
Curva de rendimiento
La estructura de producción de la bomba MDS consta de la tapa de la bomba, el husillo, el impulsor, el cuerpo de la bomba, el manguito del eje, el anillo de empaquetadura, el imán interior, la tapa de aislamiento, el imán exterior y el motor, formando un conjunto de transferencia de fluidos criogénicos y de alta temperatura, resistente al desgaste y a prueba de fugas.
Condición de trabajo
| Temperatura media | Densidad media | Temperatura ambiente | Elevación máxima | Presión máxima soportada |
|---|---|---|---|---|
| -196 °C ~ +400 °C | 0,6 ~ 2,0 | -50°C ~ +70°C | 5000 metros | 70 bares |
Área de aplicación
La MDS se especifica en cuatro grupos de aplicaciones donde convergen el tamaño compacto, la ausencia de fugas y el control de temperatura de precisión.
Fabricación de semiconductores
Control de temperatura de precisión y circulación de medios para líneas de pulido y limpieza de obleas, acondicionamiento térmico de CMP (planarización químico-mecánica), equipos de deposición de capas finas (CVD/PVD), refrigeración de sistemas de grabado y equipos de encapsulado y prueba. El confinamiento estático probado con detección de helio y el circuito de acero inoxidable protegen los medios de proceso de alta pureza de la contaminación y el entorno de la fab de fugas.
Refrigeración de IA y computación avanzada
Circuitos de refrigeración por microcanales, circuitos de refrigeración líquida para validación térmica de chips y servidores de IA, y circulación de refrigerante en bancos de prueba compactos para hardware de computación de alta densidad. La bomba maneja mezclas agua-glicol a presión estable con bajo caudal y se adapta a módulos de refrigeración OEM con espacio reducido.
Óptica e instrumentos de precisión
Control de temperatura de precisión de lentes ópticas, cámaras e instrumentos de prueba de alta y baja temperatura, y sistemas de acondicionamiento térmico de grado de laboratorio que requieren circulación estable y sin pulsaciones en un formato compacto.
Equipos de proceso y limpieza
Reactores de microcanales, equipos de limpieza ultrasónica y otras tareas de circulación compactas en aplicaciones químicas y de proceso que requieren transferencia de fluidos resistente a la corrosión y sin fugas.
Certificación del producto
