Bơm xoáy từ tính bằng thép không gỉ MDS
Tong quan san pham
Bơm xoáy nhiệt độ cao-thấp truyền động từ MDS có các bộ phận tiếp xúc chất lỏng bằng thép không gỉ. Với thiết kế truyền động từ không phớt trục, bơm chuyển đổi bịt kín động thành bịt kín tĩnh, đảm bảo an toàn và ổn định trong điều kiện vận hành lạnh sâu và nhiệt độ cao. Được thiết kế như một bơm chuyên dụng cho bán dẫn, MDS phục vụ các điểm kiểm soát nhiệt độ chính xác trên toàn chuỗi quy trình wafer, bao gồm dây chuyền đánh bóng và làm sạch, điều tiết CMP, lắng đọng màng mỏng (CVD/PVD), làm mát hệ thống khắc và thiết bị đóng gói, kiểm tra. Bịt kín đã kiểm tra rò rỉ heli giữ môi trường quy trình độ tinh khiết cao được chứa kín và bảo vệ môi trường nhà máy. Cùng thiết kế nhỏ gọn không rò rỉ đó hỗ trợ các ứng dụng AI và điện toán tiên tiến: mạch làm mát vi kênh, vòng làm mát chất lỏng cho kiểm chứng nhiệt chip và máy chủ, cùng kiểm soát nhiệt độ thấu kính quang học. Với môi trường từ −196°C đến +400°C, MDS xử lý hỗn hợp nước-glycol và các chất làm mát khác trong thiết bị OEM có không gian hạn chế.
Tinh nang san pham
- Thân bơm được xử lý bằng công nghệ gia công loại D chống mài mòn cao
- Đúc chính xác bằng sáp nhiệt độ trung bình và công nghệ xử lý bề mặt nhiều bước
- Công nghệ bịt kín áp suất cao được kiểm tra bằng phương pháp dò rò rỉ heli
- Đường dẫn chất lỏng bằng thép không gỉ không nhiễm bẩn với bịt kín tĩnh cho môi trường quy trình bán dẫn độ tinh khiết cao
- Thủy lực xoáy nhỏ gọn với cột áp 20–100 m ở 0,5–8 m³/h cho các vòng kiểm soát nhiệt độ chính xác
- Phù hợp với hỗn hợp nước-glycol dùng trong hệ thống làm mát chip AI và vi kênh
- Thiết kế nhỏ gọn sẵn sàng tích hợp vào thiết bị OEM kiểm soát nhiệt độ và thử nghiệm
Thong so ky thuat
| Người mẫu | Đường kính | Động cơ | Thông số hiệu suất | Trọng lượng bơm (kg) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Đầu vào | Chỗ thoát | Công suất (kW) | (HP) | Điện áp (V) | Tần số (Hz) | Tốc độ (vòng/phút) | Đầu tối đa (m) | Lưu lượng tối đa (L/phút) | ||
| MDS-15 | G1/2" | G1/2" | 1.1 | 1,5 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 55 | 35 | 13,5 |
| MDS-20 | G3/4" | G3/4" | 1,5 | 2 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 70 | 60 | 22 |
| MDS-30 | G3/4" | G3/4" | 2.2 | 3 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 90 | 60 | 26 |
*Thu nghiem dac tinh ben tren duoc thuc hien voi nuoc o toc do tieu chuan tai 20°C. Sai so thong so hieu nang xap xi ±10%. Hieu suat pump thay doi theo ty trong va mat do cua moi chat long.
Dac tinh then chot
Chống ăn mòn
Độ ồn thấp
Cau truc pump
Cấu trúc sản xuất của bơm MDS bao gồm nắp bơm, trục chính, cánh quạt, thân bơm, ống lót trục, vòng đệm, nam châm bên trong, nắp cách điện, nam châm bên ngoài và động cơ, tạo thành một cụm truyền dẫn chất lỏng nhiệt độ cao và đông lạnh, chống mài mòn và chống rò rỉ.
Duong cong hieu suat
Cấu trúc sản xuất của bơm MDS bao gồm nắp bơm, trục chính, cánh quạt, thân bơm, ống lót trục, vòng đệm, nam châm bên trong, nắp cách điện, nam châm bên ngoài và động cơ, tạo thành một cụm truyền dẫn chất lỏng nhiệt độ cao và đông lạnh, chống mài mòn và chống rò rỉ.
Dieu kien van hanh
| Nhiệt độ trung bình | Mật độ trung bình | Nhiệt độ môi trường xung quanh | Độ cao tối đa | Áp suất chịu đựng tối đa |
|---|---|---|---|---|
| -196°C ~ +400°C | 0,6 ~ 2,0 | -50°C ~ +70°C | 5000m | 70 bar |
Linh vuc ung dung
MDS được chỉ định trong bốn nhóm ứng dụng nơi kích thước nhỏ gọn, không rò rỉ và kiểm soát nhiệt độ chính xác giao thoa.
Sản xuất bán dẫn
Kiểm soát nhiệt độ chính xác và tuần hoàn môi trường cho các dây chuyền đánh bóng và làm sạch wafer, điều tiết nhiệt CMP (phẳng hóa cơ học hóa học), thiết bị lắng đọng màng mỏng (CVD/PVD), làm mát hệ thống khắc và thiết bị đóng gói, kiểm tra. Kết cấu kín tĩnh đã kiểm tra heli và đường dẫn thép không gỉ bảo vệ môi trường quy trình độ tinh khiết cao khỏi nhiễm bẩn và môi trường nhà máy khỏi rò rỉ.
Làm mát AI và điện toán tiên tiến
Các mạch làm mát vi kênh, vòng làm mát chất lỏng cho kiểm chứng nhiệt chip và máy chủ AI, cùng tuần hoàn chất làm mát trong các băng thử nhỏ gọn cho phần cứng điện toán mật độ cao. Bơm xử lý hỗn hợp nước-glycol ở áp suất ổn định với lưu lượng thấp và phù hợp với các mô-đun làm mát OEM có không gian hạn chế.
Quang học và dụng cụ chính xác
Kiểm soát nhiệt độ chính xác thấu kính quang học, buồng và thiết bị thử nghiệm nhiệt độ cao-thấp, cùng các hệ thống điều tiết nhiệt cấp phòng thí nghiệm đòi hỏi tuần hoàn ổn định, không dao động trong kích thước nhỏ gọn.
Thiết bị quy trình và làm sạch
Lò phản ứng vi kênh, thiết bị làm sạch siêu âm và các nhiệm vụ tuần hoàn nhỏ gọn khác trong ứng dụng hóa chất và quy trình đòi hỏi truyền chất lỏng chống ăn mòn, không rò rỉ.
Chung nhan san pham
